MIYUKI 美幸辉真空闸阀介绍

株式会社美幸輝（MIYUKI-H），日本专业真空阀门厂商，主打高真空 / 超高真空闸阀，核心卖点是球压式密封、双向背压可靠密封、低放气洁净阀体，广泛配套半导体、镀膜、OLED、光伏等高洁净真空设备。

一、核心原理与结构

属于直通式真空闸阀，闸板直线运动，全开时流道直通、流导大；关闭时通过球压式多点均压密封机构，让密封面受力均匀，正向 / 反向压差（逆圧）下都能稳定密封，这是和美系、德系闸阀最大差异点。

• 阀体：SUS304 不锈钢，真空钎焊一体成型，内壁电解抛光，内腔wusi角、低放气；

• 装配：百级洁净室组装，出厂氦质谱检漏；

• 驱动：气动为主，另有手动、伺服电机开度可调型号。

二、主力系列

1. G 系列（G-C/G-J/G-N）｜标准气动闸阀（主力）

• 口径：DN40～DN500

• 法兰：CF（C）/JIS（J）/ISO（I）/KF (NW)（N）

• 特点：闭阀推力倍增气缸 + 行程末端气垫缓冲，降低冲击，适合高频启闭；球压密封，抗反向背压；泄漏可达 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 级别

• 工况：10⁵ Pa ~ 10⁻⁷ Pa，半导体腔体隔断、真空泵组隔离阀。

2. GR 系列｜手动真空闸阀

• 手轮驱动，薄型紧凑结构；法兰可选 CF/JIS；用于调试、备件、低频启闭腔体隔离。

3. GL / GAZ 系列｜伺服电机开度可调闸阀

• 伺服驱动，支持多位置定点停止，可连续调节开度；搭配控制器做真空压力 / 排气流量自动控制；适合需要缓抽气、梯度稳压工艺（镀膜、热处理）。

4. L 系列｜经济型气动闸阀

• 成本更低，紧凑轻量化，满足常规高真空隔断，多用于非严苛洁净工况。

三、关键技术亮点

1. ✅ 逆圧密封能力强：球压均压密封，阀两侧压差反向（一侧大气、一侧真空）也不容易泄漏，腔体破真空保护优势明显

2. ✅ 气垫缓冲气缸（G 系列）：关阀瞬间推力放大，末端气垫缓冲，减少冲击、降低颗粒，延长密封件寿命

3. ✅ 低释气洁净构造：真空钎焊 + 镜面抛光，无内部缝隙藏气；洁净室装配，适合半导体、OLED 等颗粒管控严格产线

4. ✅ 流导优化：全开直通流道，流导高，减少抽气阻力

5. ✅ 法兰规格齐全：CF 超高真空刀口法兰、JIS、ISO、KF (NW)，日系设备替换兼容性好

四、典型技术规格（G 系列参考）

• 材质：接气部 SUS304，密封件氟橡胶 O 型圈（金属密封可选 CF 型号）

• 漏率：阀体 1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，阀密封 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 压力范围：大气压 ～ 10⁻⁷ Pa（高真空～超高真空）

• 驱动气源（气动款）：0.4~0.6 MPa

• 安装姿态：大部分型号可任意方向安装

五、应用领域

半导体刻蚀 / 沉积设备、真空镀膜、OLED/LCD 面板、光伏 PVD、锂电真空除气、热处理真空炉、科研高真空腔体、氦检设备，主要做腔体隔断、泵组隔离、工艺管路通断。