MIYUKI 美幸辉 气动真空蝶阀介绍

日本MIYUKI（株式会社美幸輝），专注精密真空阀门，其气动蝶阀是半导体、真空设备行业经典的高真空气动蝶阀，主力分为 B 系列（标准两位式）、BH 系列（两段式 / 三工位，zui常用）.。

✅ 核心定位

属于真空系统专用蝶阀，不是普通工业管道蝶阀；主打腔体通断、分段排气，超薄面间、高流导、低粉尘、低漏率，洁净室内组装检测，面向半导体、LCD/OLED、光伏、科研真空、镀膜刻蚀设备。

✅ 两大主力系列

1. BH 系列（二段气缸三工位，市场最主流）

特色：一个阀门实现慢排气 + 快排气

• 动作档位：全关 (0°) → 0~45° 任意小开度（慢速预抽 / 缓慢泄压） → 90° 全开（高速抽气），两段气缸结构，避免直接大开冲击腔体压力，保护真空腔与基板

• 气缸内置气缓冲，减小开关冲击；小型气缸但输出推力大，保证关阀密封可靠

• 安装无方向、无姿态限制，水平、垂直均可装

2. B 系列（标准两位式气动蝶阀）

• 齿条齿轮驱动，只有全关 / 全开 90° 两位置，结构简单可靠

• 流导性能优秀，同口径下真空电导高，适合单纯通断、不要求预慢抽的真空回路

• 口径最大可至 400A（BH 最大 350A）

✅ 基础规格（BH/B 通用）

• 口径：25A～350A（BH）；25A～400A（B）

• 真空使用区间：大气压 10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa 高真空

• 泄漏指标：阀体内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（氦检）

• 接气材质：SUS304 不锈钢，电解抛光

• 密封：标准 FKM 氟橡胶 O 圈；可选 FFKM 全氟醚 Kalrez，耐腐蚀、耐高温，最高本体烘烤 150℃

• 驱动气源：0.4～0.6 MPa G 洁净干燥压缩空气

• 法兰可选：KF (NW)、CF、JIS、ISO 法兰，适配真空管路标准

✅ 产品优势

1. 超薄面间设计：阀体厚度薄，管路流导大，真空抽速损失小

2. 低颗粒（低 particle）：洁净车间装配，内部无多余滑动摩擦副，适配晶圆制程

3. 逆压密封能力强：腔体负压 / 大气压压差工况下依旧保持密封

4. BH du有的分段排气：半导体腔体泄压、预抽最核心优势，防止压力冲击损坏样品 / 晶圆

5. 阀关闭断流wan全密封，满足高真空隔断需求

✅ 典型应用场景

半导体 PVD/CVD、干法刻蚀、等离子清洗、真空镀膜、OLED/LCD 制程、科研真空腔体、光伏镀膜、真空干燥等需要腔体预抽、分段泄压、洁净高真空气路。