MIYUKI 美幸辉 真空压力控制器介绍

MIYUKI 美幸辉是日本专业真空阀门厂商，真空压力控制器属于APC 自动压力控制系统（Auto Pressure Controller），整套系统由控制器本体 + 电动调节阀（GAR 闸阀 / BAR 蝶阀）+ 真空计构成闭环真空稳压系统，用于真空腔体高精度恒压控制，不是普通压力开关。

一、工作原理

真空计采集腔体内压力信号（0~10V/0~5V）送入控制器，和设定压力做对比；控制器依靠PIDAT 自动整定算法，输出信号驱动配套电动阀，实时调节阀门开度，稳定腔体真空压力，实现闭环恒压控制。

• PIDAT 自动调谐：7 档 AT 参数自动优化，自动适配腔体气路，减少人工调试，抑制压力震荡

• 上电自动原点复位：开机阀门回原点，校准阀位基准

• STEP 阶梯模式：支持压力分段爬升 / 下降，适配多段工艺

二、主流型号对比

MGCS-11（旗舰款，常用）

• 控制范围：0.1～10⁵ Pa

• 控制精度：设定压力 ±0.1%

• 操作：4 英寸触摸屏、I/O、RS232C

• 存储：7 组 PID 参数记忆，支持 2 路真空计输入

• 供电：内置 DC±15V、DC24V，可直接给真空计供电

• 结构：19 英寸半机架尺寸

• 安全：支持 UPS 不间断电源，断电自动关阀保护腔体

MG-mini485（小型经济型）

• 控制范围：1～10⁵ Pa

• 控制精度：设定压力 ±0.5%

• 通讯：RS485 总线，最多 7 台多节点并联

• 存储：2 组 PID 记忆

• 信号：标准 0~5V/0~10V，可选 4~20mA 模拟量输入

• 适合设备集成、产线多腔体低成本方案

MS-VP（开度指定型）

阀位开度优先控制型号，可直接设定阀门开度，同时做压力监控，适合需要流量 + 压力双控场景1688

三、核心特点

1. 高精度真空稳压，在镀膜、刻蚀工艺里维持腔体压力稳定，提升良率

2. 配套自家 GAR 电动闸阀 / BAR 电动蝶阀，阀与控制器匹配度高，响应平顺

3. 本地触摸屏 + 远程通讯 + I/O 硬接点三种控制方式，方便接入上位机 PLC

4. 阀位开度实时显示，同时监测实际压力，状态可视化

5. 报警输出功能，压力异常、阀门故障可对外告警

6. 断电保护：搭配 UPS，停电自动关闭调节阀，防止腔体进气、样品损坏

四、应用领域

半导体工艺、OLED / 液晶镀膜、真空蒸镀、等离子刻蚀、太阳能、真空脱气、真空干燥、精密科研真空设备，需要稳定真空压力的制程腔体。