MIYUKI 美幸辉（株式会社美幸輝）真空蝶阀介绍

MIYUKI（美幸辉） 是日本专业真空阀门厂商，真空蝶阀是其主力产品线，主打薄型大导导、洁净高真空密封，广泛用于半导体、OLED、镀膜、光伏、医药等真空工艺管路，用来真空通断、抽气与压力调节。

一、产品系列分类

1. B 系列｜标准气动真空蝶阀

• 驱动：齿轮齿条气动执行器，结构简单可靠；可选弹簧复位（失气安全保护，失气自动关 / 开）

• 功能：仅全关 / 全开两位控制，管路隔断、粗抽旁路

• 特点：阀体超薄，流导（电导）优异，无尘车间组装检测，低放气、低颗粒

2. BH 系列｜二段式气动真空蝶阀（美幸辉特色款）

• 二段气缸结构：0~45° 小开度 + 90° 全开两档动作

• 核心优势：先慢速排气，再高速抽气，抑制气流冲击，保护腔体内工件、薄膜

• 适合：光学镀膜、精密腔体，防止瞬间气流扰动损伤样品

• 口径：25A～350A

3. BJ4 系列｜伺服电机驱动真空蝶阀（电动调节型）

• 伺服电机直驱 + 高精度减速齿轮，任意开度连续定位，可调节开闭速度

• 支持压差状态（真空对大气）直接开启，自带角度指示

• 用途：真空压力闭环控制、工艺腔恒压调节，大流量排气工况

4. BR / BT 系列｜手动真空蝶阀

• 手动操作，全关可靠密封，无安装方向限制

• BR：法兰可选 JIS/ISO/KF/CF；BT：仅 JIS、KF 法兰，口径 25A~150A，多用于检修旁路、手动隔离miyuki-h.c...

二、通用核心规格

1. 法兰标准：JIS、ISO、KF (NW)、CF 多种法兰可选

2. 口径：25A ~ 350A

3. 真空适用区间：10⁵ Pa（常压）～10⁻⁵ Pa（高真空）

4. 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，轴密封外漏可达 10⁻¹⁰级别

5. 接气材质：SUS304 不锈钢，内腔精加工，低放气

6. 密封件：氟橡胶 FKM O 圈，耐化学腐蚀

7. 气动款工作气源：0.4～0.6 MPaG，可配微动开关反馈开 / 闭信号

8. 安装：无姿态限制，水平 / 垂直均可安装；阀体厚度薄，节省管路空间

三、核心特点

1. 大流导薄型结构：同口径相比其他真空阀，阀体面长短、气体导通能力强，抽速损失小

2. 洁净低粒子：无尘室装配检验，内部无金属滑动摩擦，适合半导体、显示行业洁净真空

3. 高真空密封：蝶板 O 形圈面密封，承受大气 - 真空压差，关断隔离可靠

4. BH 二段式为差异化亮点：解决腔体快速泄压冲击问题，是美幸辉蝶阀具代表性的型号

5. 驱动方案齐全：手动 / 气动两段 / 伺服电动调节，从简单通断到精密压力调节全覆盖

四、典型应用场景

半导体刻蚀 / 沉积、OLED / 液晶、真空镀膜、光伏设备、真空炉、锂电脱气、医药冻干、光学真空腔体、真空干燥等各类高真空 / 粗真空管路的隔断、抽气、压力调控。