ebara 真空泵 应用行业

荏原以干式无油真空泵（EV‑S/EV‑X/EV‑M/ESA/EST）、涡轮分子泵（EBT/EMT）为主，主打高洁净、耐腐蚀、抗粉尘，核心聚焦半导体高科技产业，同时覆盖新能源、显示、化工、科研等领域。

1️⃣ 半导体制造（核心主力行业）

晶圆、IC、碳化硅 SiC、化合物半导体

• 工艺：刻蚀、CVD/PVD 薄膜沉积、离子注入、外延 EPI、灰化、退火、Load‑Lock、清洗

• 适配系列：EV‑M（重腐蚀工艺）、EV‑X（通用中载）、EV‑S、EBT 分子泵

• 特点：耐 Cl₂/HBr/ 氟系腐蚀性工艺气体，低颗粒，无油污染，适配晶圆厂严苛 SEMI 标准

2️⃣ 平板显示 FPD（LCD / OLED / QD‑OLED）

• 工艺：OLED 蒸镀、ITO 溅射、大尺寸基板真空吸附、量子点沉积

• 适配：ESA、EV‑M、EV‑A；低振动，耐高温，防止有机材料污染

• 场景：8.5 代及以上大尺寸面板产线

3️⃣ 新能源光伏 & LED / MOCVD

• 光伏：HJT、PERC、PECVD、薄膜沉积、MOCVD；大腔体快速抽气

• LED、第三代半导体：MOCVD 外延生长，抽氢气等轻气体

• 适配系列：ESA 系列（擅长氢气、大腔体抽空），EST 螺杆泵

4️⃣ 锂电 / 氢能新能源

• 锂电池：真空烘烤、注液、真空脱泡

• 氢能设备：负压工艺、气体抽取

5️⃣ 化工 & 医药

• 真空干燥、溶剂回收、负压蒸馏、腐蚀性气体抽吸

• 粉体工艺、负压输送；EST 系列耐粉尘、耐冷凝气体

6️⃣ 精密光学、镀膜工业

• 光学镀膜、蒸发镀膜、真空烧结、真空热处理

• 真空检漏、真空脱泡、注塑脱泡

7️⃣ 分析仪器 & 科研实验室

• 质谱仪、扫描电镜 SEM、电子显微镜、材料科研、空间模拟

• 小型涡旋 VS 系列、EBT 涡轮分子泵；高校研究所、研发设备

8️⃣ 其他通用工业

真空包装、真空热处理、钎焊、真空炉、环境试验设备