EBARA（荏原）真空泵工作原理

荏原主流都是干式无油真空泵，分为：多级爪式（EV‑S/EV‑X/EV‑M）、螺杆式（ESA/EST）、小型涡旋 VS 系列，另外搭配EBT 涡轮分子泵实现超高真空。

核心共同点：泵腔内部wan全无油，依靠微米级机械间隙密封；同步齿轮驱动转子，转子之间、转子与泵壳不接触、无摩擦；齿轮箱润滑油和真空气路wan全隔离，不会返油污染工艺。

一、多级爪式干泵（EV‑S / EV‑X / EV‑M，半导体主力）

zui常用，刻蚀、CVD、离子注入、Load‑Lock 都用这个系列

1. 结构：泵体内串联 3‑5 级爪形转子，由同步齿轮带动，一对转子同步反向旋转，转子之间留有 10‑50μm 微小间隙，不接触。

2. 工作循环（每一级）

1. 吸气：转子转动，腔体容积变大，形成负压，工艺气体吸入泵腔；

2. 封闭：转子继续转动，进气口被封闭，气体被锁在腔室内；

3. 压缩：腔体容积不断缩小，气体被压缩升压；

4. 排气：腔体连通排气口，高压气体排出。

3. 多级串联：一级压缩完气体进入下一级继续压缩，逐级提高真空度，可以直接从大气压启动抽气，不需要前级泵。

4. 冷却：EV‑S 风冷；EV‑X/EV‑M 大机型水冷，带走压缩热量；可通入氮气吹扫，防止工艺副产物结晶沉积在泵腔内部。

区别：EV‑S 轻载、EV‑X 中载、EV‑M 重载腐蚀，转子尺寸、级数、涂层材质不一样，原理wan全相同。

二、螺杆式干泵（ESA、EST 系列）

• ESA：优化螺距，擅长抽氢气等轻质气体，MOCVD、光伏大腔体；

• EST：变螺距螺杆，耐粉尘、耐冷凝溶剂，化工、粉体工况。

1. 结构：一对阴阳螺旋转子，同步反向旋转，转子不接触，依靠螺旋槽形成密闭空间。

2. 工作过程

1. 气体从进气端进入螺旋槽；

2. 转子旋转，密闭气室沿着轴向向排气端移动；

3. 移动过程中容积持续缩小，气体连续压缩；

4. 到达排气口直接排出。

3. 特点：气流脉动小，压缩更平缓；ESA 针对 H₂轻气体优化流道，轻气体抽速优于普通爪泵；EST 适合高粉尘、高冷凝工况。

三、涡旋干泵 VS 系列（小型实验室、分析仪器）

1. 结构：固定静涡旋盘 + 偏心旋转动涡旋盘，两个涡旋线啮合，形成月牙形密闭腔室。

2. 原理：动盘做公转不自转；气体从外圈吸入，封闭腔室不断向中心移动，容积变小，气体被压缩，从中心排气口排出。

3. 优点：振动噪音极低、洁净度高；缺点：不耐粉尘、不适合大量腐蚀性工艺，多用于 SEM、质谱、小型真空设备。

四、EBT/EMT 涡轮分子泵（超高真空）

配合上面干泵作为前级泵，实现 10⁻⁶Pa 超高真空

• 高速旋转涡轮叶片，依靠动量传递把气体分子 “打向" 排气侧；不能直接大气压启动，必须干泵做前级抽低真空，用于 SEM、镀膜、科研超高真空。