富士 FUJI TECHNO HYSA-06 超高压力三柱塞计量泵介绍

更新时间：2026-07-04

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HYSA（HYS-A）是富士超级高压中流量计量泵系列，定位高于实验室微型 HYM 系列，主打超大压力、更大流量、连续中试 / 小规模量产，HYSA-06 为该系列 6mm 柱塞标准机型。

一、核心基础参数（HYSA-06）

表格

HYM 系列（实验室微量）
HYM-03 最大 15.3mL/min，最高 250bar；HYM-06 最大 61.1mL/min，最高 200bar；HYM-08 最大 108.6mL/min，最高 98bar；仅小流量、中低压。
HYSA-06（中流量超高压）
600mL/min，980bar 超高压，流量是 HYM-06 近 10 倍，压力是 HYM-06 的 5 倍。
同系列拓展：HYSA-08/10/12，流量逐级提升至 2.3L/min，均支持数百 MPa 高压工况。

HYM 全系最高仅 250bar，HYSA-06 直接做到 98MPa，适配超高压微通道、高压加氢、超临界流体、高压晶圆涂层等ji端压力工艺，是富士产品线高压主力机型。

zhuan利分段凸轮驱动，三根柱塞连续交替吸排，流量输出平稳，管路无冲击微气泡；高压工况下膜厚、配比、雾化效果高度一致，提升半导体 / 化工良率。

单台 600mL/min，无需多台 HYM 并联，简化管路、伺服同步系统，节省无尘车间设备占地，适合连续 24h 中试产线。

6mm 大柱塞吸入截面大，机械强制柱塞回程，高粘度光刻胶、PI、抛光浆料、导电浆料不会吸料不足、流量衰减。

接液部可选哈氏合金、钛材，耐高氯离子蚀刻液、强酸电镀液、强氧化性抛光液；陶瓷柱塞耐磨，输送含颗粒 CMP 浆料使用寿命更长。

全量程转速与流量严格线性，即便出口压力接近 980bar、介质粘度大幅波动，输出流量偏差仍控制在 ±0.1% 以内，工艺参数可长期固化。