富士计量泵HYM-08 在半导体量产线核心优势

单泵大流量，集成成本更低

单台最大 108.6mL/min，无需多台小泵并联、同步伺服、多路管路，减少阀门、电机、PLC 同步程序，节省无尘车间宝贵空间。

高粘度介质输送性能全系zui  优

8mm 大柱塞吸入截面积更大，5000cps 以上高粘度光刻胶、环氧胶、高固浆料吸料顺畅，流量衰减远小于 03/06。

长期量产稳定性更强、运维更少

同等输出流量下转速更低，凸轮、柱塞、单向阀磨损速率显著降低，产线连续运行数月无需重新校准，减少停机维护频次。

无脉动洁净供液，适配gao端晶圆量产标准

三重柱塞交替输出无脉冲，管路无压力冲击，不会产生微气泡，杜绝晶圆针孔、膜厚不良，提升芯片良率。

全系列通用洁净泵头，兼容半导体各类腐蚀 / 高纯介质

可切换非金属 PEEK/PTFE 泵头输送光敏、厌氧、无金属离子敏感化学品；哈氏合金适配强酸性蚀刻镀液；316 抛光适配清洗、显影药液。