东方马达半导体领域真实落地应用案例

一、晶圆前道制程设备案例（薄膜、清洗、CMP、真空载台）

案例 1：12 寸单片晶圆湿法清洗设备（日系头部清洗设备厂量产机型）

1. 设备工位痛点

   晶圆旋转、清洗摆臂、CUP 升降、Pin 针顶升多轴同步；洁净真空环境，频繁开关机，传统伺服停止震荡、开机必须回零，占用大量节拍；皮带摆臂刚性差，长期运行定位漂移。

2. 东方马达配套产品

• 晶圆旋转主轴：AZX 真空洁净闭环步进（免电池 ABZO 绝对值编码器）

• 清洗摆臂旋转轴：DGⅡ 中空旋转平台 + AZ 闭环电机

• CUP 升降 / Pin 针顶升：EZ LIMO EZS 一体化电动缸

• 多轴控制柜：薄型多轴 Mini 驱动器，节省柜内 50% 布线空间

3. 落地改善效果

• 断电yong久记忆原点，取消开机回零工序，单台设备每日节省 1.2h 工时；

• AZ 自动开闭环控制，皮带低刚性机构无整定微振，清洗药液涂布均匀度提升；

• 真空低释气专用款，无润滑油挥发污染晶圆，良率提升 7%。

案例 2：CMP 化学机械抛光设备（存储晶圆抛光生产线）

1. 痛点：抛光摆臂、修整器升降、晶圆载具旋转需要精准压力控制；多旋转轴空间紧凑，传统伺服体积大、调试复杂。

2. 配套方案

   DGⅡ 大通孔中空旋转平台（抛光台主轴）+ AZ 闭环步进驱动摆臂、升降电动缸。中空通孔可穿过抛光液管路，整机结构大幅简化。

3. 价值

   重复定位 ±8 角秒，晶圆薄膜去除厚度一致性稳定；一体化模组无需外购减速机，设备开发周期缩短 30%。

案例 3：真空镀膜 / 刻蚀设备晶圆微型微调载台

1. 痛点：真空腔狭小，普通电机体积过大；高真空环境不能有电池、油脂挥发；微米级微调不能抖动。

2. 产品：AZ 真空洁净系列微型步进（法兰 φ13mm 最小规格），无油脂低释气结构，机械绝对值无电池。

3. 应用：腔体内晶圆预对准、光阻微调；对比山洋 / 国产步进，真空标准型号无需额外防护套件，长期真空环境故障率降低 60%。