到货！京都玉崎深圳仓库到货日本EBARA 真空泵EV-S20

到货！京都玉崎深圳仓库到货日本EBARA 真空泵EV-S20

9月深圳仓库到货，欢迎咨询！

客户7月中询价该产品，经过议价对比价格后，7月底已下单，并签订正式合同订货。

8月底到货深圳仓库后，仓库负责人王工对产品验收合格后办理入库，已经发往上海的客户了。

产品介绍：

EBARA EV‑S20 干式多级爪式真空泵

EV‑S20 属于EV‑S 系列轻载干式爪泵，荏原面向半导体 Load‑Lock、洁净工艺的主力小流量干泵，无油、水冷、直流变频电机，SEMI‑S2 标准。

型号区分（3 个版本）

表格

原理：多级爪式转子，转子非接触微米间隙，齿轮箱与真空腔wan全隔离，杜绝返油污染；水冷散热，可直接大气压启动，不需要前级泵上海荏原精...。

核心技术参数EBARA CORP...

• 抽气速率：1670 L/min（直流变频，50/60Hz 性能一致）

• 极限真空：

• EV‑S20（气镇 OFF）：3 Pa；气镇 ON：5 Pa

• EV‑S20P / EV‑S20N：气镇 ON：5 Pa

• 接口：进气 NW50，排气 NW25

• 功率：极限压力 0.4 kW；最大功耗 2.2 kW

• 冷却：水冷，流量 1.5‑3.0 L/min，进水温度≤30℃

• 氮气吹扫（P/N 版）：供气 0.15‑0.7 MPa，推荐设定 0.09‑0.12 MPa

• 尺寸：W×D×H = 230 × 450 × 274 mm

• 重量：60 kg

• 电源：三相 200‑220V / 380‑440V，50/60Hz

• 噪音：约 57 dB (A)

• 通讯：RS232，模拟 IO，支持设备远程监控、报警输出ManualsLib

主要特点

1. 低功耗、体积紧凑，EV‑S 系列主打节能，适合设备集成；

2. 直流变频电机，50Hz/60Hz 电网下抽速不变；支持休眠、怠速节能模式；

3. 内置 LCD 控制器：显示压力、温度、转速；存储警告 / 报警历史；可自定义报警阈值；

4. 双重报警机制：Warning 预警（泵继续运行，通知设备）；Alarm 故障（泵停机保护）；

5. 支持气镇功能，抽含水汽气体，防止泵内凝水；

6. 满足 SEMI‑S2、CE、NRTL 认证，半导体设备合规；

7. 齿轮箱润滑油与真空腔wan全隔离，无油返流风险，洁净真空环境上海荏原精...。

典型应用场景

✅ 半导体：Load‑Lock（传输腔）、PVD 溅射、预抽腔、小型刻蚀轻载；✅ FPD 显示：基板预抽、Load‑Lock；✅ 光伏 / LED：小型 PECVD、MOCVD 预抽；✅ 光学镀膜：蒸发镀膜、真空脱泡；✅ 科研仪器：SEM、质谱、实验室真空设备；