FLUORO 福乐真空吸笔 工作原理（京都玉崎优势供应）

福乐真空吸笔属于外接负压式手动真空拾取工具，核心：依靠外部真空源产生负压，通过笔身内置精密阀组控制真空通断，实现工件吸附与释放。

1、整套系统组成

真空发生器 / 真空泵 → 真空软管 → 吸笔阀体（内置阀芯 + 弹簧 + 氟树脂密封片 + 按键） → 吸嘴 → 工件（晶圆 / 裸芯片 / 基板）

2、基础原理简述

真空泵持续抽取管路内空气，形成负压（低于大气压）；当吸嘴端面贴合工件，形成密闭空腔；空腔内空气被抽走，外界大气压压在工件表面，将工件压紧在吸嘴端面，实现吸附；通过笔身内置阀门控制：导通真空建立负压 / 接通大气破真空，释放工件。

本质：大气压夹持，不是吸笔 “吸住" 工件。

3、不同阀型的工作逻辑（重点区分）

✅ NC 常闭型（C001 / F001）

常态：弹簧推动阀芯压住密封面 → 真空通道关闭，管路真空无法到达吸嘴。

• 按下按键：阀芯位移，真空通道打开，负压传导至吸嘴，吸附工件；

• 松开按键：弹簧复位，切断真空通道，吸嘴端接通大气，负压消失，工件落下。

✅ NO 常开型（C002 / F002）

常态：弹簧使真空通道保持导通，吸嘴一直带负压。

• 吸嘴贴工件，直接自动吸附；

• 按下按键：阀芯切换，吸嘴端连通大气破真空，工件释放；

• 松开按键，自动恢复真空，可直接拾取下一片。

✅ NO+SW 自锁款（C003 / F003）

在 NO 常开基础上增加机械锁扣。拾取后拨动锁扣，锁定阀芯位置，不用一直按住按键维持真空；放置工件时解锁 / 按按键破真空。适合长距离转运。

✅ F007 吹气款

常态负压吸附；按下按键，同时切断真空 + 导入微量洁净干燥气体，正向吹气，克服超薄件分子吸附、粘片问题；气体压力需严格控制，防止吹飞薄片。

4、阀体内部结构简要说明

笔身内部是精密微型气动阀：阀芯、氟树脂密封片、复位弹簧、气道。密封面为镜面抛光氟树脂，保证低泄漏、低发尘；阀芯微小位移即可切换气道，动作灵敏，颗粒少，适配半导体洁净车间。X 万向接头型号：在笔身前增加万向球头，气道贯通，可 360° 旋转，不中断真空，方便狭小腔体取片。

5、关键注意点

1. 负压推荐：-40 ~ -80kPa，负压过高会增大工件形变、增加阀芯磨损；负压过低易掉片。

2. 必须形成密闭接触面：吸嘴平面磨损、有划痕、工件翘曲，都会造成密封失效，吸力不足。

3. ESD 设计（C 系列）：笔身与吸嘴采用导电材质，把静电泄放至大地，避免静电击穿芯片。

4. F 系列采用 PTFE/PCTFE 材质，耐化学腐蚀，适配湿法药液环境。

6、适用逻辑

只拾取平整、无孔洞薄片工件（晶圆、裸芯片、蓝宝石、光学玻璃）；多孔、严重凹凸工件无法形成密封，不能使用。