干式真空泵 vs 湿式真空泵 —— 适用场景清晰划分

一、湿式真空泵（两大类：水环泵 / 油旋片泵）

1）水环式真空泵（液环泵，荏原 NV 系列等）

1. 化工行业：真空蒸馏、真空干燥、真空过滤、溶剂回收；抽吸含水蒸气、少量腐蚀性气体

2. 食品工业：真空浓缩、果蔬脱水、酱料真空脱气

3. 造纸、矿山：浆料脱水、负压输送

4. 污水处理：真空抽吸、污泥脱水

5. 塑胶通用：普通物料脱泡（无高精度洁净要求）

6. 易燃易爆气体抽吸（水介质具备防爆优势）

特点：极限真空低（3~10kPa），依赖循环水，有废水产生。

2）油旋片真空泵（油封式湿式泵）

1. 普通实验室简易真空、小型树脂脱泡

2. 普通热处理、小型真空钎焊（要求不高）

3. 作为高真空设备临时前级泵（老旧设备）

1. 工艺不能接触油雾（芯片、光学膜、镀膜）

2. 持续产生水蒸气、酸性气体：真空泵油快速乳化、变质

痛点：停机易发生油返流，一旦倒灌直接报废腔体产品；现在精密行业大量淘汰。

二、干式真空泵（爪式、螺杆、涡旋干泵；荏原 EV、ULVAC、爱德华主力机型）

【半导体 / 显示（最大应用市场）】

1. 晶圆刻蚀、CVD、PVD、ALD、离子注入

2. Load-Lock 腔体预抽、等离子清洗

3. OLED/LCD 面板真空蒸镀、薄膜工艺

【新能源行业】

1. 锂电池：极片真空烘烤、真空注液、电解液脱气

2. 光伏：HJT、PECVD 镀膜、硅片镀膜制程

【光学与精密镀膜】

【科研与gao端仪器】

【通用gao端工业】

1. 真空焊接、真空烧结

2. 医疗器械真空生产

3. 废气中含有轻微腐蚀气体、少量水汽工况（搭配氮气吹扫）