荏原真空泵介绍

更新时间：2026-07-30

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荏原製作所（EBARA Corporation），1912 年创立，日本百年综合流体设备大厂，总部东京；荏原精密机械事业部是全球干式真空泵核心厂商，日系半导体真空biao杆品牌之一。

区分要点：荏原 = EBARA；不要和 Ebara、其他小型泵厂混淆；真空泵生产基地：日本、中国上海荏原精密。

二、核心技术路线

荏原真空泵分为两大阵营：干式无油真空泵（主力、半导体） + 湿式真空泵（传统工业）

全部无油腔体、不产生油蒸汽污染，适合精密工艺，转子非接触运转。

1）EV‑SA / EV‑A 小型风冷型

代表：EV‑SA20

✅特点：风冷、无需冷却水，体积小巧、低振动、低噪音；耐水蒸气能力优秀

极限真空：≈1 Pa

抽速：200～2000 L/min

📌用途：Load-Lock 腔体、SEM / 分析仪器、小型镀膜设备、实验室设备

👉适合替代涡旋泵、小型油旋片泵

2）EV‑S / EV‑S20/S30/S50/S100 轻载水冷型

✅特点：节能设计、占地面积小；清洁～轻度腐蚀工艺；标配防腐可选材质

📌用途：PVD、轻型真空腔体、一般电子真空制程

3）EV‑X 新一代通用中载机型（最新主力）

✅模块化设计、宽域温控，兼顾轻度至中度腐蚀；智能化监控、长保养周期

📌用途：刻蚀、CVD、灰化、离子注入、碳化硅 SiC 工艺

4）EV‑M 重载恶劣制程机型（产线主力）

✅耐高温、强防腐、抗粉尘 / 工艺副产物堆积；扭矩自适应，应对大量腐蚀气体（Cl₂、HF、卤化物）

📌用途：等离子刻蚀、外延 EPI、大量副产物生成的半导体重工艺；OLED 面板产线

代表：ESA25-D

✅优势：氢气 H₂等轻气体抽气效率ji高，大腔体快速抽空

📌典型：MOCVD、管式 PECVD、大型 Load-lock、光伏 HJT 产线

NiResist 耐蚀铸铁腔体，ji强抗粉尘、防固体沉积物；粉体、高冷凝气体工况shou选

📌适用：大量粉末副产物的 CVD、ALD 重载工艺

小型桌面机型，对标爱发科 VS 系列；仪器、小型真空脱泡使用

NV / NVD 水环式真空泵
依靠水作为密封介质；可抽吸含水、含少量粉尘、易燃易爆气体
❌缺点：极限真空受水温限制，真空度不高
📌行业：化工、造纸、废水、真空蒸馏
油旋片真空泵（少量型号）
多用于普通工业真空，半导体洁净工艺极少选用

✅【优势】

⚠️【短板】