爱发科涡旋干式真空泵的工作效率如何

效率分为抽气效率（真空性能）、电能功耗效率、长期运维综合效率三个维度，同时和旋片油泵、LS 螺杆干泵做横向对比。

一、抽气效率（容积压缩效率）

1. 双层双涡旋结构，容积利用率高DIS 系列采用双绕式动静涡旋啮合，多级月牙压缩腔同步工作，无无效死容积，从大气压到 1Pa 区间抽速衰减平缓，粗抽阶段抽气速度稳定，小型腔体抽气耗时短ULVAC SHOW...。

• DIS-90：90 L/min@50Hz，电机仅 150W；

• DIS-252：250 L/min，400W；

• DIS-501：500 L/min，1100W。

2. 极限真空表现优秀标准 DIS（精密型）极限 1～5Pa，同功率干式泵里真空上限ling   先；依靠多级渐进压缩，压缩梯度均匀，不存在单级干泵压缩损耗大、真空上不去的问题。

3. 空载保压效率稳定腔体达到目标真空后，进气流量极低，涡旋泵负载同步下降，不会像螺杆泵空载持续高负载；只是无 ECO-SHOCK 节能旁路，极限待机功耗高于 LS-C 螺杆泵。

二、电能消耗效率（分工况）

1）间歇短时间抽气（实验室、镀膜 Loadlock、电镜）→ 涡旋泵效率优势明显

设备间断启停、每次抽气几分钟就保压：

• 涡旋无油、无预热等待，开机立刻满抽速；

• 无润滑油搅拌损耗，同等抽速下瞬时功耗低于 GLD 旋片油泵；

• 风冷散热，无需冷却水配套，省去水冷系统能耗。

举例：DIS-252（250L/min，400W），同抽速级别的双级旋片油泵功耗普遍 550W 以上，长期间歇使用更省电。

2）24h 连续长时间保真空工况 → 不如带 ECO-SHOCK 的 LS 螺杆干泵

LS 螺杆内置节能旁路，低真空待机功耗可降至 0.6kW 以内；DIS 无节能旁路，保压阶段电机维持额定负载运行，长期连续待机电费更高，这是涡旋泵最大效率短板。

3）噪音 & 散热附带效率

摩擦损耗极低（动静涡旋无金属接触），机械损耗转化热量少，整机温升低，无尘车间空调附加能耗更低；噪音 50～55dB，无需隔音改造，间接降低配套投入。

三、长期运维综合效率（全生命周期成本效率）

1. 维护效率ji高无旋片、弹簧、轴封等易损件，无换油周期；仅定期更换入口滤芯，单次保养工时 5 分钟以内，停机损耗远低于油泵、普通干泵。油泵每年多次换油、更换旋片，人工 + 耗材成本高；涡旋泵 2～3 年仅更换密封胶条，运维成本大幅下降。

2. 洁净工艺隐性效率无油雾返流，不会污染镜片、晶圆、质谱检测器，减少工件报废、腔体清洗频次，提升生产良率，属于工艺层面的效率提升。

3. 故障率低，稼动率高无接触压缩结构，磨损极小，7×24 小时连续运行性能衰减慢，长期稳定抽速，不用频繁校准真空。

四、与爱发科其他泵型效率横向对比

1. VS GLD 旋片油式泵

• 抽气效率：油泵极限真空更低（0.1Pa），压缩密封靠油，真空性能略优；

• 电耗：同等抽速油泵功耗更高，且油品搅拌持续发热；

• 运维效率：涡旋完胜，无油品消耗、无倒灌污染风险。

2. VS LS 螺杆干式泵（带 ECO-SHOCK）

• 大流量连续量产：螺杆泵抽速更大、待机节能，综合电耗效率更高；

• 小型间歇设备（实验室、小型镀膜）：涡旋泵体积小、启停灵活、维护简单，综合使用效率更高。

五、效率短板（使用限制）

1. 大流量、24 小时不间断保真空产线，电能效率不如 LS-C 节能螺杆；

2. 处理大量水蒸气、粉尘工况，需频繁加装气镇冲洗，会小幅降低有效抽速；

3. 抽速上限低，最大仅 500L/min，大型腔体抽气效率不如螺杆干泵。