骏河精机（SURUGA SEIKI）产品六大核心优势

一、自研核心机械结构，精度与刚性底层壁垒（竞品难以复刻）

1. 哥特式四点接触交叉滚柱导轨（du家导向核心）

• 线接触承载，侧向、垂向刚性是普通滚珠导轨 2 倍，俯仰、偏摆形变极小，晶圆载台长期负载不倾斜；

• 出厂预紧消除间隙，0.1μm 超低速微进给无爬行、无抖动，探针台扎针、光学成像无虚影；

• 镜面研磨导轨直线度≤3μm，长效专用润滑，24 小时量产数千小时精度几乎不衰减。

2. 双螺母预紧 C1/C2 级超精密滚珠丝杠

• 双螺母错位预紧结构，整机反向间隙≤1μm，往返换向无空程漂移，解决普通模组来回定位偏移、刮伤晶圆焊盘痛点；

• 丝杠深冷稳定化热处理，抑制温变形，高低温、长时间连续作业精度波动极小；螺纹镜面研磨，摩擦低、寿命长。

3. 整块基材一体化去应力机身工艺

4. 全行程激光干涉出厂校准

二、超薄中空一体化多轴设计，适配半导体狭小腔体刚需

1. 一体式 XYθ 中空复合滑台（行业du家标准化）

   传统分体 XY + 旋转台堆叠厚度大，骏河一体结构整机高度降低 30%；台面预留大口径中空通孔（Φ30~50mm），可穿过真空管路、上下光路，适配晶圆双面视觉透射检测、真空腔预对准工位；旋转重复定位可达 ±10 角秒，是探针台、固晶机标配。

2. ji致薄型 PG 微型系列

   最薄机身 28mm，适配设备腔体内极小安装空间，解决先进封装设备内部机构密集、空间不足问题；同负载下体积比通用滑台小 20%~40%。

3. 多轴一体成型（XYZ、六维俯仰倾斜模组）

   出厂预组装、同轴校准完成，省去客户多轴堆叠调试、消除拼接累积误差，设备开发周期缩短 30%。

三、全系列标准化特种工况机型，半导体真空 / 洁净赛道优势突出

1. Class100/1000 洁净室标准款

   低粉尘表面处理、无挥发润滑，无金属碎屑脱落，适配晶圆封装、光学无尘车间；

2. 高真空低释气专用滑台

   标配真空专用全氟润滑脂、无有机挥发材质，适配刻蚀、薄膜真空腔体，不会污染晶圆膜层；

3. 全封闭不锈钢伸缩防尘罩（C 型系列）

   阻挡粉尘、清洗药液，适配晶圆清洗、点胶、Mini LED 检测；

4. 垂直负载电磁刹车选配

   垂直升降 Z 轴断电锁止，防止晶圆、芯片坠落报废，固晶机、检测设备bi备。