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骏河精机四大核心产品线(半导体 / 光学主力)

更新时间:2026-07-08      浏览次数:11

1. 手动精密位移台(科研、实验室、设备调试)

XY 线性、旋转、俯仰、六维微调台,微米 / 亚微米手动调节;交叉滚柱导轨,无间隙微调,多用于光学镜头校准、实验室显微载台。

2. 电动自动定位滑台(工业量产核心,半导体主力)

全系列自研机械结构,电机可选五相步进、αSTEP 闭环步进、伺服,分三大系列:
  • KXL/KXG 长行程线性台:晶圆 XY 对位、AOI 检测、固晶移栽,重复定位 ±0.3~1μm

  • PG 超薄微型滑台:机身Ji致薄型,适配设备狭小腔体、摄像头模组组装

  • KGB/KRW 旋转 / 测角台:中空旋转、倾斜微调,探针台 Z 轴、晶圆角度校正专用

    核心工艺:双螺母预紧滚珠丝杠、交叉滚柱导轨,低背隙、长期运行精度衰减小;提供洁净、真空低释气定制版本

3. 多轴复合模组与光纤耦合系统(du家优势品类)

  • 标准 XYθ、XYZ 多轴堆叠一体化模组,出厂校准完成,设备厂商直接装机

  • 光纤自动耦合设备(EW 系列):12 轴同步对准系统,光通信、光子芯片封装全球市占ling   先,配套自研视觉对位算法与控制器

4. 运动控制器 + 光学检测传感器

自研多轴总线控制器,支持脉冲、RS485、EtherCAT;配套激光位移、光束测量传感器,实现定位 + 视觉检测一体化方案,区别仅做机械滑台的竞品。


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