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产品分类 / PRODUCT
更新时间:2026-07-08
浏览次数:11KXL/KXG 长行程线性台:晶圆 XY 对位、AOI 检测、固晶移栽,重复定位 ±0.3~1μm
PG 超薄微型滑台:机身Ji致薄型,适配设备狭小腔体、摄像头模组组装
KGB/KRW 旋转 / 测角台:中空旋转、倾斜微调,探针台 Z 轴、晶圆角度校正专用
核心工艺:双螺母预紧滚珠丝杠、交叉滚柱导轨,低背隙、长期运行精度衰减小;提供洁净、真空低释气定制版本
标准 XYθ、XYZ 多轴堆叠一体化模组,出厂校准完成,设备厂商直接装机
光纤自动耦合设备(EW 系列):12 轴同步对准系统,光通信、光子芯片封装全球市占ling 先,配套自研视觉对位算法与控制器
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