什么是复合分子泵

1. 纯涡轮分子泵：只有多级动 / 静涡轮叶片，抽速大，但排气侧压缩比低，前级压力稍高就会气体逆流；

2. 纯牵引分子泵：螺旋槽 / 盘式沟槽转子，压缩比ji高，但抽速很小；

3. 复合分子泵：进气端涡轮级负责大抽速，排气端串联牵引螺旋槽级负责高压压缩，一体成型。

二、内部结构

1. 涡轮段（进气侧）

   多级倾斜动叶片 + 固定静叶片，高速拍打气体分子，把腔体气体快速往后方输送，主打大抽速，适配分子流稀薄气体环境。

2. 牵引段（排气侧，核心复合结构）

   转子开螺旋牵引沟槽（筒式 / 盘式两种），对已经压缩后的气体再次增压，大幅提升压缩比，允许更高前级背压，减少气体返流。

3. 配套部件：高速电机、轴承（滚珠 / 陶瓷 / 磁悬浮）、水冷散热、驱动控制器、前级排气口。

三、工作原理

1. 前级泵（旋片泵、干式涡旋泵）先把真空腔体预抽至 1Pa 左右；

2. 复合分子泵转子高速旋转，进气涡轮叶片撞击气体分子，赋予分子向排气口运动的定向动量；

3. 气体进入后端螺旋牵引槽，沟槽持续对气体二次压缩，压力逐级升高后从排气口排出；

4. 牵引结构阻挡高压侧气体反向倒流，因此相比普通涡轮泵，耐更高前级压力、极限真空更好。