干式真空泵冷却系统维护（分风冷 EV‑SA/EV‑A/EV‑X、水冷 EV‑M/EST/ESA 两大机型，荏原现场标准维保）

一、风冷型（EV‑SA、EV‑A、小型 EV‑X，电镀、实验室配套主力）

1. 日常点检（每周）

1. 散热过滤网：拆下吹扫粉尘、纤维，环境多酸碱雾气每 3～5 天清理；滤网堵塞→风量下降、泵体升温、真空变差。

2. 冷却风扇：查看运转无异响、无卡顿；风扇老化风量衰减，泵温升＞40℃效率下降。

3. 泵外壳散热翅片：压缩空气吹除积灰、结晶油污；电镀酸雾环境翅片易沾腐蚀结晶。

2. 月度保养

1. 检查风扇固定螺丝、电源线；轴承异响直接更换散热风机。

2. 设备周边预留≥15cm 通风空间，不要密闭包裹、不要靠墙堆放。

3. 异常处置

二、水冷型（EV‑M 罗茨、EST/ESA 螺杆，半导体刻蚀、MOCVD 机型）

1. 冷却水水质要求（关键）

• 优先软水 / 去离子水，禁止自来水长期直供（水垢堵水道）；

• 进水标准：水温 **≤25～28℃**、进水压力 0.2～0.4MPa，原厂规范。

2. 日常巡检（每日）

1. 进出水温差：正常 3～6℃；温差骤变小 = 水路堵塞。

2. 查看管路有无渗漏、阀门滴水；回水目视水流连续无断流。

3. 冷却水塔 / 循环水箱：液位充足、无藻类、油污漂浮。

3. 月度维护

1. 过滤器滤芯清洗 / 更换，水路前置 Y 型过滤器必拆洗。

2. 管路排气：排空水冷夹套内部积气，气堵会局部过热。

4. 季度深度保养（6 个月一次，重腐蚀工况 3 个月）

1. 水路酸洗除垢：柠檬酸循环清洗泵体冷却夹套水垢，水垢附着换热效率暴跌 30% 以上。

2. 检查冷却盘管内壁腐蚀，酸碱废气工况冷却水易渗入腐蚀夹层。

5. 冬季防冻

三、共用故障判断

1. 泵温偏高、极限真空变差、电流变大 → 冷却失效；

2. 水冷出水温度异常偏高：堵水、水量不足；

3. 风冷机身烫手：滤网堵、风扇损坏。