什么是热传导真空计

热传导真空计是一种基于气体热传导特性测量真空度的相对真空计，其核心原理是利用气体热传导能力随压力变化的规律，通过检测热源的温度或能量变化间接反映被测空间的压力。
工作原理
在一定压力范围内（通常为粗真空到中真空），气体的热传导能力与压力密切相关：
当压力较高时，气体分子密度大，分子间碰撞频繁，热传导能力强，热源（如加热丝）的热量容易被气体带走，温度较低；
当压力降低时，气体分子密度减小，热传导能力减弱，热源散热变慢，温度升高。
通过测量热源的温度变化（或因温度变化导致的物理特性变化，如电阻），即可换算出对应的真空度。
主要类型
根据测量热源特性变化的方式不同，常见类型有：
电阻式热导真空计
核心元件是一根细金属丝（如钨丝、铂丝），通过恒定电流加热。
金属丝的电阻随温度变化（利用其电阻温度系数），压力变化导致丝温变化，进而引起电阻变化，通过测量电阻值可间接得到压力。
热电偶式热导真空计
由加热丝和热电偶组成，加热丝通恒定电流产生热量，热电偶直接测量加热丝的温度。
压力变化导致加热丝温度变化，热电偶将温度信号转换为电动势信号，通过电动势大小反映压力。
特点与适用范围
测量范围：主要用于测量粗真空（10⁵ Pa）至中真空（10⁻¹ Pa），超出此范围后，热传导与压力的线性关系减弱，测量误差增大。
优势：结构简单、成本低、响应速度较快，适合动态真空测量。
局限：属于相对真空计，需用绝对真空计校准；测量结果受气体种类、环境温度等因素影响（不同气体热传导系数不同）。
热传导真空计广泛应用于真空镀膜、真空干燥、真空冶金等工业领域，作为低精度真空测量的常规工具。