常用真空计介绍

• U 形管真空计：用以测量粗真空和低真空的绝对真空计。在 U 字形的玻璃管中充以低蒸气压的油、汞等工作液，管的一端被抽成真空或直接通大气，另一端接被测真空系统，根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。

  

压缩式真空计：又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。一般用硬质玻璃制成，通过活塞操作使汞储存器中的汞上升，将气体隔成两个区域并进行压缩，根据玻璃容器体积、毛细管高度和汞柱高度差，利用玻意耳定律算出被测压力，测量精度较高。

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• 电阻真空计：又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。规管内封装着电阻温度系数较大的钨或铂丝，测量时，规管与被测真空系统相接，用电压、电流加热电阻丝，其表面温度与周围气体分子热传导有关，而气体分子热传导又与压力有关，根据电阻值大小可测量出压力。

  

• 热阴极电离真空计：通称电离真空计，主要用于高真空测量，由圆筒式热阴极电离规管和测量线路两部分组成。规管有阴极、螺旋形栅极和圆筒形收集极三个电极，测量时，规管与被测真空系统相连，通电后热阴极发射电子，与管内空间的低压气体分子碰撞使气体分子电离，在被测气体压力低于 10-1 帕的状况下，当电子流恒定时，离子流与被测真空系统中的气体分子密度成正比，因此离子流大小可作为压力的度量。

  

• 冷阴极电离真空计：一种测量高真空的相对真空计，由电离规管和测量线路两部分组成。规管一般由两块平行的阴极、一个环形的阳极和产生磁场的磁钢构成，在正交电场和磁场的作用下，由低压气体分子电离产生的放电电流是被测压力的函数，放电电流大小可作为压力的度量。