三维形状测量机的原理

许多三维形状测量机采用白光干涉技术。白光干涉法是一种利用白光干涉仪的测量方法。光学干涉是光从物体表面到某一点的距离存在差异时发生的现象。光学干涉仪利用这一现象，用于测量表面不规则性等。

由于光的干涉，因样品表面不平整而产生的光程差，呈现出条纹状图案。条纹的数量表示样品表面不平整的高度。实际操作中，使用内置参考镜（称为干涉镜）的物镜，将白光照射到参考镜和物镜上，上下移动物镜的同时用相机观察干涉信号。

一些相机还配有高灵敏度 CMOS。 CMOS是一种将通过镜头进入的光转换为电信号的半导体。采用CMOS的固体摄像元件，可以在拍摄形状的同时拍摄外观照片，从而可以同时进行表面观察和测量。分析结果被转换成3D模型等数据，可以使用CAD进行查看。