欢迎来到深圳市京都玉崎电子有限公司!
品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 5千-1万 |
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子,电气,综合 |
日本爱发科ULVAC皮拉尼真空计测量单元SP1
日本爱发科ULVAC皮拉尼真空计测量单元SP1
传感器规格:如果需要压力
·空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化
决定子交换更容易
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用
可以输出2个设定点
SP1:压力为0至5 V输出(非输出)
电源电压:24 VDC输入
用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
类型 | 传感器单元 |
模型 | SP1 |
兼容的传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) |
±30 %(10 Pa ~1000 Pa) | |
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa) | |
工作温度范围 | 10~40℃ |
测量值输出 | 非线性输出:0至5VDC(最大10V) |
设定点 1/2 压力设定调节监视器 | 非线性输出:0至5VDC(最大10V) |
控制输出信号 | 集电极开路输出,负逻辑 |
错误信号 | |
设定值 1/2 | |
LED显示屏 | 功率、错误、设定点 1、设定点 2 |
电源电压 | DC24V±2V,90mA(最大) |
输入/输出连接器 | D-sub-15P(M2.6螺丝) |
重量 | 190克/0.41磅(不包括传感器头) |
标准配件 | 输入/输出连接器 1 个 |
快速说明书 1份 |
13717032088
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