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产品介绍晶圆电镀设备
A-52硅片电镀实验装置
2-12英寸硅片电镀设备一套。通过使用特殊的夹具，可以进行半导体和MEMS的精密电镀。
特征
水族箱的结构是不断进行过滤，同时从水箱底部产生温和的对流，导致溢出。
有可进行高速搅拌的1面溢流型和2面溢流型。使用桨式搅拌直接搅拌。
基材材质
它不仅可用于硅晶圆，还可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。
关于定制生产
基于标准设备，我们可以定制形状与您的样品相匹配的夹具和双面电镀夹具。我们
还拥有阳极氧化和阳极氧化夹具等制造设备的跟踪记录。
夹具有全密封夹具、非密封夹具、卧式夹具等多种类型，请随时通过
设置细分
A-52-ST□AWJYPPA 硅片电镀实验装置WJ型（YPP电源用）
| 产品编号 | 产品名称 | 数量 |
A-52-ST□-P01A | 硅片水箱（亚克力双层底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A | 硅片用阴极盒（标准型）（*1） | 1 |
| A-52-ST□-P09A | 硅片阳极支架（带拉丝阳极背面）（*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 桨式搅拌装置 | 1 |
B-90-A20-APFA05 / | 迷你迷你过滤器20APFA型（2至6英寸用） 迷你迷你过滤器40APFWJ型（8英寸用） | 1 |
| A-63-M202 B-92-M10-P04A | 气泵 M202 (AC100V) (2~4inch) | 1 |
| A-52-P18 | 空气过滤器 | 1 |
| A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A | 晶圆水箱加热器 WJ2型（2英寸） 300W PFA涂层加热器（AC100V） 300W石英小型浸入式加热器 WJB型（5-6英寸） 500W石英加热器（8英寸） | 2 1 3 3 |
| – | 温度传感器、加热器塞 | 1 |
(*1) 请选择定向平面型/缺口型。 还备有密封型/吸入密封型
（*2）不溶性阳极也备有隔膜型。
(*3) 英寸数填写在产品编号的□标记中。
(*) 这是一套适用于 YPP 电源的电源、温度控制器和阳极板单独出售。请与A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D分开电源。PC单独出售。
强力搅拌水箱（双面溢流式，实现约两倍的搅拌速度）
通过将溢流从一侧更改为两侧，桨式搅拌速度已增加至最大 130 rpm。液体搅拌效率提高，电镀更加稳定。我们还增加了液体防溅结构。
| 产品编号 | 产品名称 | 数量 |
A-52-ST□-U | 硅片水箱（亚克力双层底型） | 1 |
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