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日本TORAY东丽氧气分析仪半导体用

描述:日本TORAY东丽氧气分析仪半导体用SD-450
氧气浓度计
半导体/液晶/电子元件相关应用
用于半导体、电子元件的氧气分析仪

  • 产品型号:SD-450
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-02-23
  • 访问量:201
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION
品牌TORAY/东丽应用领域医疗卫生,化工,电子,电气,综合

日本TORAY东丽氧气分析仪半导体用SD-450

日本TORAY东丽氧气分析仪半导体用SD-450


测量原理/选型/维护基础


氧化锆氧气浓度计测量原理

氧化锆陶瓷的两面均加工有电极,有在高温下一侧电极电离氧分子,另一侧电极将氧离子还原成氧分子的特性。这种性质称为离子传导,离子传导程度随着氧化锆陶瓷两侧氧浓度差的增大而增大。在此期间,电子在两个电极之间交换,离子传导的程度(=氧化锆陶瓷两侧的氧浓度差)可以被提取为两个电极之间的电动势的大小。如下图所示,根据能斯特理论公式可以得到这个电动势的稳定值,因此东丽氧化锆传感器可以提供稳定可靠的氧气浓度值。

使用氧化锆氧气浓度计的一般注意事项

氧化锆氧气浓度计可在约 700℃ 的高温下工作。因此,在以下情况下,可能无法进行测量,并且可能会影响传感器的寿命。
  • 由于氧气浓度计内部有电炉,因此不能在安装气氛为防爆的区域使用。

  • 如果可燃气体(如氢气、甲烷、酒精、一氧化碳等)进入氧气计内部,会发生燃烧反应,导致测量误差。

  • 有机二氧化硅(用于密封剂等)会导致传感器劣化。(这是传感器劣化的最常见原因之一。

  • 卤素(尤其是氯)会导致传感器故障。

  • 如果一氧化碳等热值较高的物质间歇性地混入传感器中,则会接收热历史并导致传感器故障。

  • 如果混入大量Nox、Sox等腐蚀性气体,会导致传感器故障。

  • 氟利昂气体在高温下可能会引起分离反应,导致传感器劣化。

  • 水滴、灰尘和雾气可能会损坏传感器、缩短其使用寿命并导致错误。测量含有这些气体的气体时,请在将其流入氧气浓度计之前先将其除去。购买前请咨询我们有关去除方法。

选型图

如果您在选择型号时遇到困难,请参考下表。

目的兼容型号解释其他选项
半导体、液晶、
电子元件
MS-500用于安装在半导体制造设备等上,最多可测量8点
LC-450A兼容 ppm 级测量,交流电源类型
  • 活性炭过滤器

  • 硅过滤器

  • 过滤棉

LC-450D支持ppm级测量,DC电源类型
LC-860兼容 ppb 级测量,交流电源类型
SD/LD-450真空室安装型(用于设备集成)交流电源装置:DU-450
烧成炉/
氮气回流焊/
废气
RF-400具有氧传感器保护功能的烘烤炉/回流焊专用机
  • 活性炭过滤器

  • 硅过滤器

  • 过滤棉

LC-750H/PC-111内置抽气泵,适用于中高浓度污浊气体
天然气装置/
空气分离
LC-750H中/高浓度通用型
LC-750H/PC-110内置抽气泵,适用于中高浓度清洁气体
LC-750L低浓度通用型
LC-750L/PC-120内置抽气泵,适用于低浓度清洁气体
真空沉积/
密封炉/
手套箱
SD/LD-450分离式传感器/转换器型、薄壁安装转换器交流电源装置:DU-450
食品包装LC-450F用于充气后取样检查(取样探头)
  • 活性炭入口

  • 顶空进样器

LC-750F用于充气后取样检查(注射器)
LF-200用于安装在气体灌装自动包装机上
  • 活性炭过滤器

  • 过滤棉






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