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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 1万-2万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子,制药,电气 |
日本Canon anelva佳能 电容表真空计M-342DG
日本Canon anelva佳能 电容表真空计M-342DG
特征：
高精度、稳定的压力测量
・出色的零点稳定性
・温度依赖性低，无需温度调节机构即可实现出色的稳定性
・出色的抗振性和噪音性
紧凑、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、轻量且紧凑 (*1)
、功耗 0.5 W
*1 质量和尺寸适用于联合 NW16 规格。
广泛兼容真空压力的高精度、长期稳定测量
半导体、显示器、太阳能电池等各种真空设备、
溅射、PECVD等真空成膜工艺压力控制、监视
/负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工艺、系统压力管理。
用于医疗、生物、食品等行业的各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析设备、灭菌、真空泵评估、分子蒸馏等，以及各种研发应用。
| 型号名称 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| 满量程压力 (Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 测量精度（读数的%） | 0.20(23℃时) | ||||
| 零点温度系数（% of FS/℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| 量程温度系数（%读数/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分辨率（满量程的%） | 0.01 | 0.005 | |||
| 测量下限压力（满量程的%） | 0.01 | ||||
| 实际测量下限压力（满量程的%） | 0.05 | ||||
| 实际控制下限压力（满量程的%） | 0.5 | ||||
| 响应速度（毫秒） | 100 | 30 | |||
| 压力上限 | 200 kPa（但是，对于NW16和NW25，内部压力不得为正） *13.33 Pa规格为130 kPa | ||||
| 电源电压（VDC） | +13.5～26.4 | ||||
| 功耗（瓦） | 0.5 | ||||
| 模拟输出（直流） | 0-10 | ||||
| 工作温度/储存温度(℃) | 0~50/-20~70（不工作时） | ||||
| 最大电缆长度（米） | 100（专用电缆） | ||||
| 调零方式 | 按键开关、远程输入 | ||||
| 输入/输出连接器 | D-sub9 针（公头） | ||||
| 气体接触材料 | SUS304、SUS316、Si、玻璃、氟橡胶 | ||||
| 法兰形状和质量 | NW16 (200 g)、NW25 (210 g)、8-VCR 母头 (250 g)、φ70ICF (460 g) | ||||
| 一致 | CE 标志、RoHS、IP40 | ||||
| 证券交易管制条例 | 不适用 | ||||
| 兼容显示器 | M-601GC（1通道连接型）、M-603GC（3通道连接型） | ||||
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